Semilské panství bylo tvořeno následujícími rychtami (podle urbáře z r. 1687):
Semilská, Vysocká, Roprachtická, Střevelská (též Radčická)
Také se tu nácházely dvě svobodné sklenné hutě – Rejdučka (v obci Rejdice) a Huť (v obci Pěnčín)
Semilská rychtabyla tvořena obcemi :
Semily, Benešov u Semil, Bítouchov, Bořkov, Bozkov, Chuchelna, Komárov, Podmoklice, Příkrý, Rybnice, Slaná
Vysocká rychtabyla tvořena obcemi :
Vysoké nad Jizerou, Makov, Sklenařice, Tříč (Třtice), Stará ves, Blansko, Jesenec (asi Jesenný)
Roprachtická rychtabyla tvořena obcemi :
Dolní Sytová, Horní Sýtová, Přívlaka, Roprachtice, Jilem
Střevelská rychta (Radčická)byla tvořena obcemi:
Hrubá Horka (Velká Horka), Malá Horka, Příchovice, Radčice (Račice), Střevelná, Šumburk nad Desnou (Šumburk), Velké Hamry (Hamrska), Jirkov